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分子泵
产品简介
该系列分子泵同时具有抽速大、压缩比高、抗冲击的特点,扩展了分子泵的应用范围。
>> 咨询热线:13316689188 李国栋(经理)

       该系列分子泵同时具有抽速大、压缩比高、抗冲击的特点,扩展了分子泵的应用范围。分子泵对被抽气体无选择性、无记忆效应。由于对分子量大的气体有很高的压缩比,因此该不需要冷阱和油挡板即可获得清洁的高真空和超高真空。其广泛应用于光伏、照明、宇航、半导体、能源、军工、激光、家电、材料、汽车等真空技术的各个领域。

 

技术数据 TYFB-600K复合分子泵 TYFB-1200K复合分子泵 TYFB-1600K复合分子泵
高真空法兰(mm) 150 CF 160 ISO-K 200 CF 200 ISO-K 250 CF 250 ISO-K
前级管道法兰(mm) 40 KF 40 KF 50KF
抽气速(L/S) 600 1200 1600
压缩比 N2 >109 >109 >109
H2 >8X103 >1X104 >1X104
极限压强(Pa)帕 <8×10-8 <5×10-7 <8×10-8 <5×10-7 <8×10-8 <5×10-7
电机转数(n/min) 24000 24000 21000
振动值 ≤0.1μm ≤0.1μm ≤0.15μm
启动时间(min) <5 <5 <6
建议采用的前级泵 4-8 L/S 8-15 L/S 15 L/S
冷却方式 水冷 水冷 水冷
水冷冷却水温度 ≤25℃ ≤25℃ ≤25℃
水冷冷却水流量(L/min) 1 1 1
泵体烘烤温度 <120℃ <120℃ <120℃
泵口耐压(Pa) 7000 7000 7000
加热器输入电压(v) AC220 AC220 AC220
安装方向 垂直±5° 垂直±5° 垂直±5°
泵重量(kg) ≈26 ≈31 ≈35

 

广泛应用于光伏、照明、宇航、半导体、能源、军工、激光、家电、材料、汽车等真空技术的各个领域。

分子泵图1 分子泵图2 分子泵图3

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