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真空镀膜机镀陶瓷手机盖板镀膜工艺介绍

         手机已经成为人民生活中不可缺少的一部分,人人都有配置一部手机,手机给我们生活带来了极大的便利。然而随着手机5G技术的快速发展,陶瓷将凭借它无信号屏蔽以及良好的机械性能成为5G时代比较受关注的材料,未来陶瓷的市场前景将非常广阔。而陶瓷产品的表面处理是需要用到真空镀膜机PVD镀膜工艺,主要是蒸镀和溅射镀为主,那么下面汇成真空小编为大家详细介绍一下这两种技术。真空蒸发镀膜机镀膜:真空蒸发镀膜是在真空条件下,加热蒸发物质使之气化并沉淀在基片表面形成固体薄膜。

蒸发真空镀膜机

真空蒸发镀膜机镀膜的基本工艺流程:镀前准备→抽真空→离子轰击→烘烤→预熔→蒸发→取件→膜层表面处理→成品

在镀膜的过程中要进行一些清洗的工作:
1、镀件清洗。
2、蒸发源制与清洗。
3、真空室与夹具清洗。
4、安装蒸发源和镀件。
 
真空蒸发镀膜机镀膜的特点:
优点:设备简单易操作,制成的薄膜纯度高、质量好,厚度可较准确控制,成膜速率快,效率高,薄膜生长机
 
理比较简单。
缺点:所形成的薄膜在基材上附着力较小,工艺重复性不够好,不易获得结晶结构的薄膜。
 
        磁控溅射镀膜机镀膜原理:电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞,电离出大量的氩离子和电子,电子飞向基片。氩离子在电场的作用下加速轰击靶材,溅射出大量的靶材原子,呈中性的靶原子(
或分子)沉积在基片上成膜。
 
真空镀膜机磁控溅射主要工艺流程:
1、基片清洗,主要是用异丙醇蒸汽清洗,随后用乙醇、丙酮浸泡基片后快速烘干,以去除表面油污;
2、抽真空,真空须控制在2×104Pa以上,以保证薄膜的纯度;
3、加热,为了除去基片表面水分,提高膜与基片的结合力,需要对基片进行加热,温度一般选择在150℃~200℃之间;
4、氩气分压,一般选择在0.01~1Pa范围内,以满足辉光放电的气压条件;
5、预溅射,预溅射是通过离子轰击以除去靶材表面氧化膜,以免影响薄膜质量;
6、溅射,氩气电离后形成的正离子在正交的磁场和电场的作用下,高速轰击靶材,使溅射出的靶材粒子到达基片表面沉积成膜;
7、退火,薄膜与基片的热膨胀系数有差异,结合力小,退火时薄膜与基片原子相互扩散可以有效提高粘着力。
 
真空镀膜机磁控溅射镀膜的特点:
 
优点:薄膜纯度高,致密,厚度均匀可控制, 工艺重复性比较好,附着力强。
缺点:设备复杂,靶材利用率低下。
依据溅射源的不同,真空镀膜机磁控溅射有直流和射频之分,两者的主要区别在于气体放电方式不同,真空镀膜机射频磁控溅射利用的是射频放电,陶瓷产品使用的是射频磁控溅射镀。
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